Atomik Katman Biriktirme (ALD) teknolojisi, 20. yüzyılın sonlarında ortaya çıkmış olup, başlangıçta Fin bilim insanları tarafından ZnS ve Mn gibi floresan malzemelerin ve düz panel ekran endüstrisine hizmet eden Al₂O₃ yalıtım ince filmlerinin hazırlanmasında başarıyla uygulanmıştır.
2026-02-11
Daha